Introducción a la aplicación
Almacenamiento y gestión automatizados de materiales en la producción de semiconductores.
Se aplica a :
1.Almacenamiento de alta densidad, alta utilización del espacio, uso total del espacio de altura
2. ritmo rápido
3. Integrado en el sistema de gestión de materiales del taller.
4.Implementación rápida, prueba de enseñanza de nivel automática.
5.Compatible con ARV/OHT/OHS/manual y otros procesos automáticos
6.Cumple con los estándares de sala limpia ISO14644-14, SEMI S2 y ESD
Introducción de la función
*Se utiliza para almacenamiento en línea de semiconductores, admite FOUP, CASSETTE, revista, bandeja y otros.
*Puede acoplarse con ARV, soportar carga y descarga manual
*Cumple con los estándares de sala limpia ISO14644-14, estándar SEMI S2 y ESD
*Interfaz de software SEMI estándar
*Diseño modular
Bloque 4. No.358 Jinhu Road, distrito de Pudong, Shanghái, China